高纯石墨在半导体晶体生长及后续外延、离子注入等工序中均有应用。

• 半导体晶体生长中使用更高纯度的石墨及保温材料，来保证晶体的纯度，必要时会选择特殊涂层石墨制品。

• 半导体外延工艺中，采用精密加工的石墨基座来承载晶片，必要时石墨基座需采用特殊涂层来增强其抗腐蚀性能。